眾所周知膳算，半導(dǎo)體工藝水平?jīng)Q定了晶體管尺寸大小捺宗。在半導(dǎo)體廠或光電廠中八毯，真空系統(tǒng)應(yīng)用于提供制程設(shè)備的真空吸盤或吸筆來搬運傳送晶片或玻璃昌阿，為半導(dǎo)體制程中相當(dāng)重要之支援系統(tǒng)山害。本篇文章涉及半導(dǎo)體制程技術(shù)領(lǐng)域村生，在介紹真空系統(tǒng)在半導(dǎo)體制程中的應(yīng)用之前嘉涌，我司打算先對半導(dǎo)體制程和真空系統(tǒng)做些簡單的介紹妻熊。

在真空系統(tǒng)中，真空針對大氣而言洛心，表示一特定空間或系統(tǒng)內(nèi)部分氣體被排出固耘，其內(nèi)部空間的壓力小于大氣壓力，則稱此空間為真空或為真空狀態(tài)词身，簡單言之厅目，空間內(nèi)壓力低于一大氣壓力即為真空。在高科技制程中所要求的高真空或超高真空，就必須要有足夠的真空技術(shù)或設(shè)備才能達成损敷。

半導(dǎo)體制程專用真空系統(tǒng)的真空度要求一般為700-~500mmHg之間葫笼，僅落在粗略真空范圍內(nèi)，而制程設(shè)備真空度要求則視其應(yīng)用范圍而定拗馒，而落在中真空度與超高真空度或以上之范圍路星。

不同類型的真空泵組合而成的系統(tǒng)，真空度也有所不一樣诱桂，關(guān)于真空系統(tǒng)的類型洋丐，東莞市普諾克真空科技有限公司整理出幾大類。

真空系統(tǒng)的類型有三種：

1.低真空系統(tǒng)

2.中真空系統(tǒng)

①由羅茨泵為主泵串聯(lián)機械泵而構(gòu)成的系統(tǒng)挥等；

②由油增壓泵為主泵串聯(lián)機械泵而構(gòu)成的系統(tǒng)友绝；

③由羅茨泵串聯(lián)小羅茨泵，再串聯(lián)機械泵而構(gòu)成的系統(tǒng)肝劲。

3.高真空系統(tǒng)

①由擴散泵為主泵串聯(lián)羅茨泵迁客，再串聯(lián)機械泵而構(gòu)成的系統(tǒng)；

②由擴散泵為主泵串聯(lián)機械泵而構(gòu)成的真空系統(tǒng)辞槐；

③由擴散泵為主泵串聯(lián)油增壓泵掷漱，再串聯(lián)機械泵而構(gòu)成的真空系統(tǒng)。

根據(jù)上述所提到的內(nèi)容榄檬，在半導(dǎo)體制程中卜范，最佳的方法就是選擇應(yīng)用高真空系統(tǒng)，高真空系統(tǒng)可以由不同的真空設(shè)備組合而成丙号。

事實上簡單的真空系統(tǒng)只是能獲得一個粗真空先朦，而想要獲得高真空時，通常在真空系統(tǒng)中串聯(lián)一個高真空泵犬缨，比如羅茨泵和螺桿泵等都是獲得高真空的泵。當(dāng)串聯(lián)一個高真空泵之后棉浸，通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門怀薛，以便高真空泵能單獨保持真空。如果所串聯(lián)的高真空泵是一個油擴散泵迷郑，為了防止大量的油蒸氣返流進入被抽容器枝恋，通常在油擴散泵的入口加一個捕集器——水冷障板。根據(jù)要求嗡害，還可以在管路中加上除塵器焚碌、真空繼電器規(guī)頭、真空軟連接管道霸妹、真空泵入口放氣閥十电，散熱器等等，這樣就構(gòu)成了一個較完善的高真空系統(tǒng)。

關(guān)于半導(dǎo)體制程和真空系統(tǒng)鹃骂，小編就介紹到這里台盯，如果您仍對真空系統(tǒng)在半導(dǎo)體制程中的應(yīng)用有什么疑惑的話，隨時可以聯(lián)系我司畏线。