東莞市普諾克真空科技有限公司旗下的旋片真空泵以清潔無污染酷愧，而且擁有較寬的抽速范圍以及良好的節(jié)能驾诈、穩(wěn)定、易維護等優(yōu)勢廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)溶浴，半導(dǎo)體工藝用真空主要用在蒸發(fā)乍迄，濺射，PECVD士败，真空干法刻蝕闯两， 真空吸附，測試設(shè)備，真空清掃等等鍵合工序生蚁，今天普諾克的技術(shù)人員來給大家普及一下旋片真空泵在半導(dǎo)體工藝中的應(yīng)用不可忽視的安全問題。

半導(dǎo)體材料可以分為元素半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體兩大類戏自，元素半導(dǎo)體指硅邦投、鍺單一元素形成的半導(dǎo)體，化合物指砷化鎵擅笔、磷化銦等化合物形成的半導(dǎo)體志衣。砷化鎵的電子遷移速率比硅高5.7倍，非常適合用于高頻電路猛们。

半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過程中容易產(chǎn)生易燃易爆以及有毒的物質(zhì)氣體念脯，會對生產(chǎn)及人員安全造成威脅，因此弯淘，旋片真空泵在半導(dǎo)體工藝中的應(yīng)用時需要注意的幾個安全事項主要有以下幾點內(nèi)容：

1绿店、定期清洗旋片真空泵及其他附件、過濾庐橙、管道假勿，避免超壓；

德國旋片真空泵在半導(dǎo)體中應(yīng)用時态鳖，抽取介質(zhì)過程中經(jīng)過反應(yīng)室與真空泵转培，其成分可能極為復(fù)雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2浆竭，TiCl4水解會形成HCl浸须；假設(shè)是油封式機械泵，這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反邦泄。這些變化假設(shè)形成顆粒删窒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì)，就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng)顺囊，影響真空泵性能易稠，造成壓力上升或超壓，第一點中提到的危險性也更大包蓝。所以需要及時的清洗驶社，并在必要的時候設(shè)置過濾設(shè)備。

2测萎、有效稀釋有害氣體的濃度亡电；

半導(dǎo)體易產(chǎn)生前面所說的易燃易爆、有毒的有害氣體硅瞧。所以半導(dǎo)體用真空泵應(yīng)用過程中份乒，在抽取這些介質(zhì)時就必須防止它們在真空泵內(nèi)或者排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如SiH4、PH3或辖、AsH3瘾英、B2H6等物質(zhì)，在與空氣或氧接觸的時候颂暇，會引起燃燒甚至爆炸缺谴；氫氣在空氣中的混合比例達到一定程度與溫度時也會發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力耳鸯、溫度的關(guān)系湿蛔。因此半導(dǎo)體真空泵在抽取這些介質(zhì)時，需要用氮氣之類的惰性氣體县爬，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當(dāng)時條件下的安全范圍阳啥。

3、注意氧氣的濃度财喳；

空氣中的氧如果濃度過高也會發(fā)生燃燒及爆炸風(fēng)險察迟。所以一些情況下需注意氧的濃度，采用惰性氣體來稀釋耳高，防止?jié)舛冗^高卷拘；假設(shè)是油封機械泵可能還需要采用一些惰性的與氧相容的真空泵油，并及時更換油濾和油品祝高。

4栗弟、防止溫度過高；

半導(dǎo)體在真空泵的應(yīng)用中工闺，有害氣體比較多乍赫，而無論是干式真空泵還是油封機械泵，泵腔內(nèi)溫度過高陆蟆，高溫下易燃易爆及有毒氣體就會容易發(fā)生危險雷厂。

以上四個方面就是旋片真空泵在半導(dǎo)體工藝中的應(yīng)用過程中最主要的幾個安全事項，我們一定不可忽視叠殷，技術(shù)人員說小問題對運轉(zhuǎn)改鲫、產(chǎn)量、效率和安全都有聯(lián)系林束，如果想要工作更加的順利像棘，我們應(yīng)該延長真空泵的使用壽命，努力協(xié)調(diào)平衡壶冒，保證效率與安全缕题。